Cechy skaningowego mikroskopu elektronowego
Chociaż skaningowy mikroskop elektronowy jest wschodzącą gwiazdą z rodziny mikroskopów, szybko się rozwinął ze względu na wiele unikalnych zalet.
1 Przyrząd ma wysoką rozdzielczość, a wtórny obraz elektronu może być używany do obserwacji szczegółów powierzchni próbki na około 6nm. Za pomocą pistoletu elektronowego LaB6 można go dodatkowo ulepszyć do 3nm.
2 Zakres powiększenia urządzenia jest duży i można go regulować w sposób ciągły. W związku z tym można wybrać różne rozmiary pola widzenia do obserwacji w zależności od potrzeb. W tym samym czasie można uzyskać jasne obrazy o wysokiej jasności, które są trudne do osiągnięcia przy zwykłych transmisyjnych mikroskopach elektronowych przy dużym powiększeniu.
3 Obserwuj głębię ostrości próbki, pole widzenia jest duże, a obraz jest pełen trójwymiarowego sensu. Może bezpośrednio obserwować chropowatą powierzchnię z dużymi wahaniami i nierównym metalowym złamaniem próbki itp., dając ludziom poczucie bycia w mikrośrodku.
4 Przygotowanie próbki jest proste, o ile próbka bloku lub proszku jest traktowana lub nie jest traktowana trochę, można ją bezpośrednio zaobserwować w skaningowym mikroskopie elektronowym, dzięki czemu jest bliższa naturalnemu stanowi substancji.
5Jakość obrazu może być skutecznie kontrolowana i ulepszana za pomocą metod elektronicznych, takich jak automatyczna konserwacja jasności i kontrastu, korekcja kąta nachylenia próbki, obrót obrazu lub szerokość geograficzna poprawy kontrastu obrazu poprzez modulację Y i jasność każdej części obrazu Umiarkowana. Za pomocą urządzeń z podwójnym powiększeniem lub selektorów obrazów obrazy o różnych powiększeniu mogą być wyświetlane jednocześnie na ekranie fluorescencyjnym.
6 Możliwa jest kompleksowa analiza. Wyposażony w spektrometr rentgenowski dyspersyjny (WDX) lub spektrometr rentgenowski dyspersyjny (EDX), ma funkcję elektronicznej sondy i może również wykrywać odbite elektrony, promienie rentgenowskie, fluorescencję katodową, elektrony przenoszone i auger electronics itp. Rozszerzenie zastosowania skaningowej mikroskopii elektronowej na różne metody analizy mikroskopowej i mikroprzespołowej pokazuje wszechstronność skaningowej mikroskopii elektronowej. Ponadto możliwe jest również analizowanie opcjonalnych mikroregionów próbki podczas obserwacji obrazu morfologicznego; za pomocą uchwytu próbki półprzewodnikowej złącze PN oraz mikro defekty w tranzystorze lub obwodzie scalonym można zaobserwować bezpośrednio za pomocą wzmacniacza obrazu siły elektromotoryzującej. Ponieważ wiele sond elektronicznych SEM realizuje elektroniczną kontrolę komputera automatycznego i półautomatycznego, szybkość analizy ilościowej jest znacznie lepsza.